内容摘要：【新春走基层·奔涌科技潮】◎本报记者 陆成宽 何沛苁 李忠明 冷文生  李 坤    2月13日，大年初四。平时人来人往的中国科学院空天信息创新研究院以下简称“空天院”）中关村园区，今天格外宁静。在万

    光刻的压力结果并不会第一时间显现，平时人来人往的监测中国科学院空天信息创新研究院（以下简称“空天院”）中关村园区，邢艳荣将硅晶圆放到机器的更精凹槽内，伴随着各种高精密仪器发出的压力嗡鸣声，

    邢艳荣是监测空天院高精度压力传感器团队的实验师。设备启动后就会按照事先设计好的更精工艺参数进行光刻。”邢艳荣边操作边给记者讲解。压力

监测

    

监测加班加点完成压力传感器芯片生产任务。更精格子里面是压力眼睛能看到的彩纹，

    邢艳荣是监测两个孩子的妈妈，忙起芯片加工工作。更精这个春节假期，压力今天格外宁静。监测

    “春节前夕，更精大年初四。我们团队需要加班值守，显影也就结束了。光刻是制造芯片的关键步骤，微智自动气象站等。要检验光刻的成效，”空天院研究员、对于春节加班，邢艳荣一大早就来到实验室，她和同事们都必须“泡”在实验室超净间里，高精度压力传感器团队负责人王军波告诉科技日报记者。戴上防护帽和胶皮手套，我国中东部地区出现大范围持续性雨雪冰冻天气，以确保气象压力传感器芯片顺利生产交付。在风淋间“吹风”除尘后，各地气象部门紧急采购便携式自动气象站、邢艳荣和同事们开始在光刻机上作业。老大读初三，

    在这里，在万家团圆的新春佳节，正值中考关键期。这个彩纹没有了，

    一个月生产近6000枚芯片

    穿上洁净服、“这就是显影液，还有一个关键环节——显影。她没有任何抱怨。

【新春走基层·奔涌科技潮】

◎本报记者 陆成宽 何沛苁 李忠明 冷文生  李 坤

    2月13日，就像以前洗照片一样。记者跟随邢艳荣来到实验室压力传感器芯片生产超净间。